BLD 高純凈型壓力表

 
YTJ 高純凈型壓力表主要應用于半導體領域。產品根據潔凈度等級，可分為 (YTJA) A 級 (YTJB) / BA 級
(YTJE) / EP 級 3 種類型
◆ 根據使用特性可選擇 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的測壓元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR（M）、1/4VCR（F）等多種連接形式。
◆ 所有零部件都經過超聲波純水處理。
◆ 選用無氧真空室的高純氬氣保護焊接作業 。
◆ 產品經過嚴格的耐壓及氣密性檢測。氣密性可達到 1 × 10-10 Pa·m3 /s。
◆ 測量范圍：-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度：1.5%；2.5%。

 高純凈表潔凈度等級

 A 級
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
組裝調試：潔凈室（潔凈度 10000）
包裝：N2
氣體吹掃，密封包裝

 BA 級
零件：（氣體接觸部位）機械拋光處理
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
潔凈度：等級 VI（ASME B40，1 Level）
組裝調試：潔凈室（潔凈度 10000 ISO Class4）
工作臺（潔凈度 100 ISO Class2）
包裝：N2
氣體吹掃，PET 袋真空密封包裝

 EP 級
零件：（氣體接觸部位）電解拋光
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
潔凈度：(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼
 不可見微粒子數量 10 個以內。
組裝調試：潔凈室（潔凈度1000 ISO Class3）工作臺（潔凈度100 ISO Class2）
包裝：N2 氣體吹掃，PET 袋真空密封包裝